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射频等离子体处理设备


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产品描述

产品特点

        容易采用数控技术,自动化程度高;
        具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;
        正确的等离子体清洗不会再表面产生损伤层,表面质量得到保证;
        真空腔体中进行清洗,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。


运用领域

        •航空航天电连接器
        •器械行业
        •数据硬盘存储行业
        •PCB线路板
        •纺织纤维行业


机台型号:CJD-DPR60L
整机规格:1320×1020×1720mm(W×D×H)
电极规格:420mm×360mm
电源频率:13.56 MHz(100W-2000W,全自动阻抗匹配)
控制系统:触摸屏+PLC自动控制
进气系统:2-5路工作气体可选:Ar、N2、H2、CF4、02
产品系列:CJD-DPR25-60L;CJD-DPR80-200L;CJD-DPR300-750L